本發明公開了基于碳納米管陣列的電容式氣體傳感器及其制備方法。在碳納米管陣列的上下兩端分別置有一塊平板電極構成電容式氣體傳感器結構,通過化學氣相沉積的方法在陽極氧化鋁模板中制備的碳納米管陣列作為兩平板電極的支撐結構,使得兩塊平板電極之間具有微米級的間距,流過電容傳感器兩平板電極間氣體介電常數的變化由傳感器的電容變化量反映出來,可以據此判斷被測氣體的種類。本發明克服了現有氣體傳感器的不足之處,有效縮短了電容傳感器兩平板間距,提高了傳感器對氣體檢測的靈敏度。
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