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光激活納米氧化物半導體氣敏傳感器

1190   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:33:29
一種光激活納米氧化物半導體氣敏傳感器,由光激發器、微結構氣敏芯片和定位臺組成,其中光激發器由照明光源、會聚鏡、單色儀和聚焦透鏡組構成,以提供頻率和強度可調的激發光束,照明光源發射出的光束經會聚鏡聚焦,再通過單色儀成為頻率可調的單色光,經過聚焦透鏡組會聚照射在微結構氣敏芯片上,微結構氣敏芯片由硅基底、叉形電極和覆蓋在叉形電極上的半導體氧化物敏感膜構成,并固定在定位臺上。本發明通過調節光激發器出射光束的頻率和強度,聚焦照射在微結構氣敏芯片上,使光激活氣體分子與半導體氧化物敏感膜表面發生化學吸附和脫附反應,通過叉形電極測量敏感膜電阻變化,可在室溫下實時快速檢測低濃度氣體。
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