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研磨墊

1096   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:33:29
本實用新型涉及一種用于化學機械研磨的研磨墊，該種研磨墊，包括帶有光學終點檢測窗口的研磨墊基材、研磨墊基材背面的粘貼層以及粘貼層上的背紙，所述背紙包括第一部分背紙和第二部分背紙；更換研磨墊時，研磨墊放置在研磨機臺上且研磨墊的光學終點檢測窗口對準研磨機臺上的信號窗口，揭去研磨墊上的第一部分背紙黏貼研磨墊固定在研磨機臺上，再揭去研磨墊的第二部分背紙黏貼研磨墊，本實用新型具有結構簡單，成本低、易更換，研磨墊的光學終點檢測窗口準確對準化學機械研磨機臺上的信號窗口，更換效果好，不產生偏移的優點。
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聲明：
“研磨墊” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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