本實用新型屬于無機化學儀器分析領域,具體涉及一種真空實驗平臺。目的在于提供一種啟動速度快、靈敏度高、漏點定位準確同時又具備抽空功能的真空實驗平臺。該平臺包括真空系統、為真空系統各部件提供電源的電源控制系統、與被檢工件進行匹配連接的接口系統,其中真空系統為被檢工件提供真空環境和真空指示;電源控制系統控制整機、機械泵、分子泵、離子泵、復合真空計等部件的電源。接口系統為待抽系統、工件提供形態各異的接口和轉換頭。本平臺在準確定位焊接器件的漏點、質譜計制造真空系統輔助抽空、真空系統輔助運行中效果明顯,同時,在質譜儀真空實驗中,能為離子源等試驗提供真空環境;具備抽速快、啟動迅速、使用方便、多功能等特點。
聲明:
“真空實驗平臺” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)