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微小尺寸芯片固定裝置

1085   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:31:09
本發明涉及半導體制造行業的失效分析領域，尤其涉及一種應用于光發射顯微鏡的固定裝置，包括底座和位于該底座上的若干條擋塊，且該底座與所述若干條擋塊共同構成承載主體；所述若干條擋塊之間形成了多個樣品槽，且每相鄰的兩條擋塊之間分別設置有一條滑塊。該結構使得本發明的芯片測試結構不會被膠帶遮擋而影響到探針扎針，芯片表面也不會受到污染；同時，芯片背面與固定裝置底座充分接觸，不會因傾斜而影響光發射顯微鏡的鏡頭聚焦；再次，當探針進行扎針時，針尖與芯片不會發生相對滑動，而且整個操作過程不涉及化學物品，安全無害。從而可以幫助分析人員快速、高效、安全地進行缺陷定位分析工作，提高了失效定位率和成功率。
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聲明：
“微小尺寸芯片固定裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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