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基于集成光子元件的傳感器系統

884   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-19 07:29:32
實施例包括一種傳感器,所述傳感器包括:襯底管芯;光子環形諧振器(RR),位于所述襯底管芯上;聚合物,位于所述RR上,對化學分析物具有親和力;光子波導,位于所述襯底管芯上并耦合到所述RR;激光器,位于所述襯底管芯上并耦合到所述波導,用于以諧振波長發射利用所述RR進行操作的光能;以及光電檢測器,位于所述襯底管芯上并耦合到所述波導,用于檢測響應于所述聚合物耦合到所述分析物而發生的利用所述光能進行操作的所述RR的折射率(RI)變化。本文描述了其他實施例。
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