合肥金星智控科技股份有限公司
宣傳

位置：中冶有色 >

有色技術頻道 >

有色金屬技術

礦山技術

冶金技術

材料制備及加工技術

環境保護技術

分析檢測技術

> 分析檢測技術

> 化學分析技術

> 大規模小像元銦鎵砷焦平面探測器制備方法

大規模小像元銦鎵砷焦平面探測器制備方法

953   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:29:11
本發明公開了一種大規模小像元銦鎵砷焦平面探測器制備方法，具體步驟如下：1)淀積氮化硅擴散掩膜，2)開擴散窗口，3)閉管擴散，4)生長P電極，5)快速熱退火，6)開N槽，7)淀積氮化硅鈍化膜，8)開P、N電極孔，9)生長加厚電極，10)金屬化，11)生長銦柱。本發明的優點在于：1、制備工藝更簡單，首先生長P區電極的工藝方法，降低光刻偏差和過刻蝕可能導致的P區電極與N區InP材料之間的導通風險；2、引入感應耦合等離子體化學氣相沉積(ICPCVD)技術生長低溫氮化硅鈍化膜，芯片的表面鈍化層結構致密，降低工藝過程對材料表面造成的損傷，改善表面鈍化效果；3、金屬化區域和銦柱區域一體化光刻生長技術，降低器件的接觸電阻。
登錄解鎖全文
聲明：
“大規模小像元銦鎵砷焦平面探測器制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
分享 0
         
舉報 0
收藏 0
反對 0
點贊 0
標簽：
化學分析
上一個：縫隙腐蝕原位監測方法
下一個：減少干擾的測定

與 “大規模小像元銦鎵砷焦平面探測器制備方法” 相關技術

? 廢水廢氣聯產生物油的裝置及其方法
? 鈦合金厚板的水切割裝置及水切割方法
? PVD埃米金薄膜載體及其制備方法
? 材料用無損檢測裝置
? 金屬探傷儀
? 金屬制品無損檢測智能設備
? 用于金屬的超聲波無損檢測設備
? 稀有金屬表面缺陷無損檢測裝置
? 金屬材料裂痕無損檢測設備
? 快速可連續測試高溫楊氏模量的裝置及方法

相關化學分析設備推薦

（LQS）多功能土壤腐蝕速度測量儀
固定式隔爆型粉塵監測儀
分體式鍍層測厚儀
光譜分析儀
固定式有毒有害氣體探測器
全國熱門有色金屬技術推薦
江蘇通用技術 北京礦山技術 江蘇冶金技術 北京冶金技術 江蘇材料制備及加工技術 常州材料制備及加工技術 江蘇新能源材料技術 江蘇加工技術 北京材料制備及加工技術 福建材料制備及加工技術 江蘇環境保護技術 江蘇廢水處理技術 江蘇固/危廢處置技術 北京環境保護技術 北京廢水處理技術
展開更多 +

 

中冶有色技術平臺

最新更新技術

?廢水廢氣聯產生物油的裝置及其方法
?鈦合金厚板的水切割裝置及水切割方法
?PVD埃米金薄膜載體及其制備方法
?材料用無損檢測裝置
?金屬探傷儀
?金屬制品無損檢測智能設備
?用于金屬的超聲波無損檢測設備
?稀有金屬表面缺陷無損檢測裝置
?金屬材料裂痕無損檢測設備
?快速可連續測試高溫楊氏模量的裝置及方法

報名參會
更多+

第二屆全國鹽湖資源綜合利用與綠色發展創新論壇
第二屆全國鹽湖資源綜合利用與綠色發展創新論壇
2025年07月09日 ~ 11日
第二屆關鍵金屬選冶與高純制程技術交流會
第二屆關鍵金屬選冶與高純制程技術交流會
2025年07月11日 ~ 13日
2025全國有色金屬材料加工與成形技術交流大會
2025全國有色金屬材料加工與成形技術交流大會
2025年07月16日 ~ 18日
2025全國煤化工科技創新與產業綠色發展論壇
2025全國煤化工科技創新與產業綠色發展論壇
2025年07月16日 ~ 18日
第二屆全國海洋工程及船舶材料技術交流會
第二屆全國海洋工程及船舶材料技術交流會
2025年07月18日 ~ 20日

報告下載

1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取
下載:139
2 取、制樣安全淺析
下載:131
3 取、制樣現狀及未來規劃/需求
下載:108
4 自動化樣品制備助力準確高效的礦
下載:99
5 樣品變質引起采制樣和結算問題
下載:96
6 淺談質量檢驗管理風險防控的重點
下載:95
7 礦產品人工取樣方案的制定及案例
下載:93
8 用于X熒光分析的樣品前處理及其
下載:91
9 不均勻樣品給第三方檢測機構和貿
下載:90
10 非常規礦產品取制樣方法的探討
下載:89
赤泥綜合利用研究報告2025
推廣

熱門技術
更多+

1防爆閥保護膜
2壓力平衡機構
3水電站的尾水預埋件
4化工礦產有色金屬的檢測機構
5礦石分類與實時定量分析的光譜檢測新方法
6礦石中有色金屬成分和含量的檢測裝置
7有色金屬現貨狀態評估系統及方法
8有色金屬廢料中鐵磁性雜質檢測設備及檢測工藝
9高溫熔體緩冷裝置及渣包測溫方法
10便攜式礦山測量激光儀
衡水宏運壓濾機有限公司
宣傳
環磨科技控股（集團）有限公司
宣傳

發布

在線客服

公眾號

電話

頂部
咨詢電話：
010-88793500-807
專利人/作者信息登記
在线精品视频播放|无码 有码 国产18p|宅男精品一区在线观看|伊人色综合久久天天人手人婷|亚洲熟肥妇女BBXX