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氧化鋅納米線陣列紫外光電探測器的制備方法

1036   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:28:49
本發明公開了一種基于氧化鋅納米線陣列的紫外光電探測器，屬于光電子器件領域。本發明利用化學氣相沉積技術，通過調節雙溫區管式爐裝中真空壓力等實驗參數，在氮化鎵襯底上實現氧化鋅納米線陣列的均勻可控生長，然后利用透明導電玻璃直接貼壓法，得到對365nm紫外光具有毫秒量級的快速響應和恢復時間的紫外光電探測器。本方法工藝簡單，材料成本低廉，在快速紫外光電傳感器和短波長光電器件領域有廣泛的運用前景。
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“氧化鋅納米線陣列紫外光電探測器的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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