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以二氧化鈦納米管陣列為基體的紫外光探測器及其制備方法

764   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:28:48
本發明公開了一種以二氧化鈦納米管陣列為基體的紫外光探測器及其制備方法，所述紫外光探測器自下而上依次由鈦片基底（1）、二氧化鈦納米管陣列（2）、絕緣層（3）和石墨烯薄膜（4）構成，在所述鈦片基底（1）的下表面和所述石墨烯薄膜（4）的上表面分別設置有引出電極（5），所述引出電極（5）通過電流測量器（6）連接。本發明紫外光探測器由于通過陽極氧化的方法在鈦片基底上制備二氧化鈦納米管陣列，這種方法制備的陣列氧空位較少，化學計量比沒有失配。因此，在退火后二氧化鈦結晶結構好，導致響應度高，暗電流小，紫外可見抑制比高。
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