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鋁鎵氮晶片外延層中鋁元素含量的測試方法

840   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:28:46
本發明屬于計量測試技術領域，涉及化學成分量測試技術領域。本發明涉及的鋁鎵氮晶片外延層中鋁元素含量的試驗方法，采用熔融的氫氧化鈉對鋁鎵氮晶片外延層多次刻蝕，刻蝕掉的樣品經過鹽酸中和，形成鋁元素的強酸性溶液，采用分光光度法測定刻蝕液的鋁元素與鉻天青S顯色溶液546nm處的吸光度，通過標準溶液吸光度與鋁元素濃度的關系可以得到樣品溶液的鋁元素濃度，再根據測定的鋁元素的濃度獲得晶片外延層中鋁元素的含量；通過深紫外光致發光光譜儀測量刻蝕面熒光峰出現的位置控制刻蝕深度。重復測量的標準偏差大約為1%，加標回收率大于95%。適用于鋁鎵氮晶片外延層中鋁元素含量的準確測試。
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