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用于制造包括基于氧化釩的敏感材料的微測輻射熱計的方法

1130   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:27:47
本發明涉及一種用于制造包括基于氧化釩(VOx)的敏感材料(15)的微測輻射熱計(10)的方法，所述敏感材料包括選自硼(B)、碳(C)的除氮(N)以外的至少一種附加化學元素，所述方法包括以下步驟：i.確定附加化學元素(B、C)的非零有效量，基于該有效量，在溫度Tr下經受暴露持續時間Δtr的敏感材料(15)在環境溫度下的電阻率ρa|r大于或等于所述敏感材料(15)的固有值ρa的50％；ii.將所述敏感材料(15)制成薄層，其附加化學元素(B、C)的量大于或等于之前確定的有效量，所述敏感材料是非晶的，并且具有1至30Ω.cm的電阻率；iii.在小于或等于Tr的溫度下將所述敏感材料(15)暴露小于或等于Δtr的持續時間。
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“用于制造包括基于氧化釩的敏感材料的微測輻射熱計的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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