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用于六氟化硫氣體分解過程實時監測的徑向共振光聲池

1210   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:22:38
一種用于六氟化硫氣體分解過程實時監測的徑向共振光聲池；主要包括共振腔、前端緩沖腔、后端緩沖腔、入射窗片、出射窗片、進氣口、出氣口、高靈敏度傳聲器、高壓電極，以及接地電極。入射窗片和出射窗片分別在前端和后端緩沖腔上；兩個緩沖腔分別在共振腔的兩側，依共振腔幾何中心對稱。兩個緩沖腔的側面分別有進氣口和出氣口。共振腔的軸向中心一端固定有高靈敏度傳聲器；共振腔幾何中心的徑向端有高壓電極和接地電極，可以產生放電使SF6氣體發生分解。本發明可實時定量檢測HF、SF5、SF4、SF2、SOF4、SO2F2、SOF2、SO2、CF4、CO2、H2O等多種氣體，而且特別適于化學性質不穩定的SF6分解物實時定量測量分析。
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“用于六氟化硫氣體分解過程實時監測的徑向共振光聲池” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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