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差動式氣體感測-在線監測系統

828   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:22:38
一種在線檢測系統(200)和方法,用于實時檢測流動氣流中的雜質濃度。一個特別的方面,系統可包括一個在線監測系統,用來確定流動氣流中的雜質類標定的濃度,在低于預定的濃度值的低濃度范圍內,以及在高于預定的濃度值的高濃度范圍內。一個傳感器連接裝置(214)使凈化器(208)與感測裝置(212)互連,用以監測氣流中的雜質水平。一個開關閥(230)插入配置在凈化器(208)和傳感器(212)之間的流動環路中,用來有選擇地控制來自氣流的已凈化的和未凈化的氣體流向雜質檢測裝置。系統可在水為重要雜質情況下采用濕度計傳感器,或者采用敷有合適的雜質親合敷層的超聲波(SAW)器件。系統在監測半導體器件制造中的汽相處理,例如化學蒸法鍍敷中所用的氣流中的低雜質水平(例如大約0.1ppm至大約100ppm)方面特別有效。
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