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薄膜的水汽/氣體滲透率測試系統與方法

1210   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:22:38
本發明公開了一種薄膜的水汽/氣體滲透率測試方系統與方法，可用于各種透明/非透明薄膜和板材的檢測，尤其涉及到有機電子器件的超高水汽/氧氣阻擋率的柔性封裝薄膜和基底的測試，這是一種建立在分子化學反應的計量方法。利用活潑金屬探測層接觸到，從待測樣品透過的水汽/氣體后，所產生反應及所引起的金屬探測層電阻值的變化曲線，再通過定量分析電阻率與原子層厚度的變化和定標，可以計算得到樣品的水汽/氣體滲透率。
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