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植入式微型生物傳感器的制造方法

1056   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:22:36
一種植入式微型生物傳感器的制造方法，包括：提供一個表面含有第一感測區的基板；形成一個第一工作電極于表面上，使該第一工作電極至少包含一個含有第一導電材料的第一感測段；形成至少一個第二工作電極于表面上，使該第二工作電極至少包含一個鄰設于該第一感測段的至少一個側邊并包含第二導電材料的第二感測段；及形成一個化學試劑層并使其至少蓋覆于第一感測段的第一導電材料上，以與該目標分析物反應。本發明制造方法可于同一感測區內制作出表面材質不同的兩個感測段，可經由圖案化程序精準控制電極的形狀尺寸及位置，并能滿足制程簡化的需求。
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