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高靈敏度多氣體檢測的氣敏傳感器

1047   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:19:35
本發明公開一種高靈敏度多氣體檢測的氣敏傳感器，所述氣敏傳感器是以納米氧化鎳為氣敏材料，其特點在于，所述納米氧化鎳是通過包括如下步驟得到：（1）采用三電極體系在ITO玻璃上電化學沉積鎳原子層：工作電極為ITO玻璃，輔助電極為Ni，參比電極為飽和甘汞電極，電解液為硫酸鎳水溶液；（2）步驟（1）沉積鎳原子層后的ITO玻璃在空氣氣氛下于350～380℃處理60～90min，冷卻，超聲處理，得到具有玫瑰花狀形貌的所述納米氧化鎳。與現有以納米氧化鎳作為氣敏材料的氣敏傳感器相比，本發明的氣敏傳感器可顯著提高對氣體的檢測靈敏度，特別是濃度低至20ppm以下的靈敏度。
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“高靈敏度多氣體檢測的氣敏傳感器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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