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具有CMP拋光墊用的高UV透明度的脂肪族UV固化的聚氨基甲酸酯光學終點檢測窗口

1127   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:19:35
本發明提供化學機械(CMP)拋光墊，用于拋光選自包括所述CMP拋光墊的半導體襯底的襯底，并且具有一個或多個終點檢測窗口，所述窗口為具有兩個(甲基)丙烯酸酯端基的線性環脂肪族氨基甲酸酯大分子單體或其環脂肪族氨基甲酸酯寡聚物與脂肪族引發劑的反應混合物的固化產物，所述(甲基)丙烯酸酯端基經由環脂肪族二氨基甲酸酯鍵合至平均分子量為450至2,000的聚醚、聚碳酸酯或聚酯鏈，其中所述氨基甲酸酯大分子單體中的總異氰酸酯含量在3.3至10重量％范圍內，并且進一步地，其中，所述組合物包括小于5重量％的未反應的(甲基)丙烯酸酯單體，并且大體上不含未反應的異氰酸酯。無論其硬度或缺乏硬度，所述終點檢測窗口在潮濕時均具有出色耐用性。
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“具有CMP拋光墊用的高UV透明度的脂肪族UV固化的聚氨基甲酸酯光學終點檢測窗口” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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