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納米鍍膜工藝的集成式在線檢測方法

1031   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:13:08
本發明涉及一種納米鍍膜工藝的集成式在線檢測方法，將各在線檢測設備通過不同的組合方式集成為滿足不同測試需求的在線檢測裝置，對納米鍍膜工藝氣相沉積反應過程中的輸入量、輸入組分、輸出量和輸出組分進行實時檢測，通過定量輸出裝置的設置，對反應物混合氣的質量和組分比例進行定量控制，采用橢偏儀、紅外檢測儀、石英晶體微天平以及質譜儀對納米薄膜的厚度、質量、組分和反應后氣體(或中間產物)的組分進行檢測，從而獲得納米薄膜生長量、生長厚度以及反應后氣體(或中間產物)的組分與定量輸入的反應物混合氣質量的關系，為進一步探索納米鍍膜工藝化學反應和物質交換的定量規律提供數據支撐。
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