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懸臂梁微量檢測傳感器及其制備方法

1004   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:11:26
本發明公開了一種懸臂梁微量檢測傳感器及其制備方法。該傳感器是將經過重金屬擴散或者伽馬射線輻照處理過的金屬-硅肖特基二極管嵌入硅懸臂梁適當位置的表面,用以將力學信號轉化為電學信號。在懸臂梁的一個表面淀積薄的貴金屬層,在該金屬層上通過自主裝的方法生長上具有特異性吸附能力的單分子敏感層。被檢測化學物質與敏感層分子結合時在懸臂梁上下表面產生表面應力差,致使懸臂梁發生彎曲,從而在懸臂梁根部產生集中的彎曲應力,該應力由嵌入懸臂梁表面的肖特基二極管檢測。本發明提供的傳感器,結構簡單、制作簡便、靈敏度高、分辨率高,可應用于力傳感器和掃描探針等,在環境檢測、食品安全、航天軍事等領域有重要應用。
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