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激光直接成像設備正反面成像對位誤差的檢測方法

1085   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:08:35
本發明的一種激光直接成像設備正反面成像對位誤差的檢測方法，可解決現有的檢測方法效率低下而且檢測精度低的技術問題。包括S10、向產品的A面圖形邊緣添加對位檢測標記MARK?A；S20、向產品的B面圖形邊緣添加對位檢測標記MARK?B，MARK?A與MARK?B中心對齊；S30、向產品基板的對稱兩板邊固定兩條與基板等厚度的透明材質；S40、安裝并調試基板；S50、對基板A面進行曝光成像；S60、對基板進行左右翻版；S70、對基板B面進行曝光成像；S80、CCD圖像處理系統抓取MARK?A中心坐標；S90、CCD圖像處理系統抓取MARK?B中心坐標；S100、計算MARK?A與MARK?B中心坐標誤差值。本發明省去了化學顯影化學蝕刻化學退膜和X?Ray照射、顯微鏡測量等步驟，提高了檢測效率和準確性。
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“激光直接成像設備正反面成像對位誤差的檢測方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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