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化學氣相沉積和掃描電鏡聯用設備

736   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:03:21
本實用新型涉及一種化學氣相沉積和掃描電鏡聯用設備，包括掃描電鏡樣品室外殼、掃描電鏡樣品室、電子束鏡筒、樣品臺、溫度控制器、加熱棒、熱電偶、壓差光闌和氣體注入系統，溫度控制器通過控制線與加熱棒和熱電偶連接，加熱棒和熱電偶均設置在樣品臺內；壓差光闌位于電子束鏡筒出口處；氣體注入系統包括氣體注入系統外殼和氣體管道，氣體注入系統外殼固定在掃描電鏡樣品室外殼上，氣體管道固定在氣體注入系統外殼內且兩端均穿過氣體注入系統外殼，氣體管道上設有流量計和針閥，氣體管道出口側延伸至樣品臺上方。該設備可以實現對材料生長過程實時觀測其形貌變化，從而精確控制材料生長和揭示材料生長機理，在物理學和材料學領域有很大應用前景。
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