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在金屬栓塞的化學機械研磨中的制程動態優化方法及系統

889   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:00:54
本發明提供一種在金屬栓塞的化學機械研磨中的制程動態優化方法及系統，金屬栓塞形成于目標材料層中，包括如下步驟：1）設定目標去除厚度與研磨參數在閉回路控制系統中；2）利用研磨參數，執行第一化學機械研磨步驟，以降低目標材料層的厚度達到在第一實際去除厚度的去除；3）測量第一化學機械研磨步驟中目標材料層被去除的第一實際去除厚度；4）依據目標去除厚度和第一實際去除厚度的差異，轉換厚度差異成對應的研磨參數差值，以動態更新研磨參數；5）利用更新后的研磨參數，執行第二化學機械研磨步驟，以降低目標材料層的厚度達到在第二實際去除厚度的去除，藉此動態優化研磨參數。本發明可以精確控制研磨過程中去除的目標材料層的厚度。
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