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鋁柵CMP化學反應動力學仿真及版圖設計優化方法

827   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:00:52
本發明提供了一種鋁柵CMP化學反應動力學仿真方法及版圖設計優化方法。所述鋁柵CMP化學反應動力學仿真方法，包括：基于鋁柵CMP化學反應動力學模型，優化鋁柵CMP的研磨液中各組分濃度；基于所述鋁柵CMP化學反應動力學模型和優化后的所述鋁柵CMP的研磨液中各組分濃度，對鋁柵進行預定時間段的仿真，預測鋁柵表面高度的變化量；基于預測得到的所述鋁柵表面高度的變化量，獲取鋁柵表面的仿真金屬碟形值和仿真介質侵蝕值。該仿真方法的基礎模型從化學反應機理上對HKMG工藝中的鋁柵CMP進行了合理解釋和表面高度實時仿真，從本質上揭示出了鋁柵CMP的工作原理。
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聲明：
“鋁柵CMP化學反應動力學仿真及版圖設計優化方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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