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金屬有機化學汽相淀積設備及其溫度控制方法

1037   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:00:52
本發明提供一種金屬有機化學汽相淀積設備及其溫度控制方法。該設備包括：腔室；安裝在腔室內側并能旋轉的襯托器，其中，將至少一個襯底設置于襯托器上；加熱襯托器的多個加熱器，其溫度被獨立控制；氣體噴射器，位于襯托器上部且朝向襯托器噴射III族氣體和V族氣體；多個溫度探測傳感器，其位于襯托器的上部，并測量通過各加熱器加熱的加熱區的溫度；和控制器，其存儲加熱區所需的溫度設定值，并通過將由各溫度探測傳感器探測到的探測溫度值與加熱區所需的設定值相比較來控制加熱區的溫度。通過有效地調節金屬有機化學汽相淀積設備中的每一外延工藝所必需的溫度條件，可以在整個工藝期間均勻地向整個襯底實施溫度傾斜，其通過將溫度從室溫上升至1200℃來執行工藝。因此提高了工藝效率和淀積均勻度。
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“金屬有機化學汽相淀積設備及其溫度控制方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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