等離子聚焦離子束系統說(shuō)明介紹

簡(jiǎn)介 蔡司雙束電鏡CROSSBEAM系列，是專(zhuān)為高通量3D分析和樣品加工制備量身打造的FIB-SEM雙束電鏡。CROSSBEAM系列將場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡(FE-SEM)鏡筒強大的成像和分析性能與全新一代聚焦離子束(FIB)出色的加工能力相結合。無(wú)論是加工、成像或進(jìn)行3D分析，都能在不損失精度的前提下，提高聚焦離子束的應用效率。 工作原理 1，生命科學(xué)，如斷層掃描，三維重構
2，電池領(lǐng)域，如原子層組分表征
3，半導體領(lǐng)域，如失效分析，電路修復
4，金屬領(lǐng)域，如界面分析，亞表面分析
5，材料科學(xué)，如晶體微觀(guān)結構分析，納米圖形化加工
6，透射電鏡、EBSD、微觀(guān)力學(xué)等多種樣品的原位制備
7，微納加工 技術(shù)參數

• 電子束流5pA100nA
• 分辨率3nm@30KV
• 檢測器lens Se、 Inlens esB、可變氣壓二次電子探測器VPSE、二次電子二次離子探測器SESI、掃描透射電子探測器STEM、背散射探測器BSD

選型原則 檢測能力：SEM截面 、TEM制樣 、三維重構 應用案例 設備結構     蔡司雙束電鏡CROSSBEAM系列，是專(zhuān)為高通量3D分析和樣品加工制備量身打造的FIB-SEM雙束電鏡。CROSSBEAM系列將場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡(FE-SEM)鏡筒強大的成像和分析性能與全新一代聚焦離子束(FIB)出色的加工能力相結合。無(wú)論是加工、成像或進(jìn)行3D分析，都能在不損失精度的前提下，提高聚焦離子束的應用效率。

上一個(gè)： 激光粒度儀（粒度/zeta） 下一個(gè)： 雙向觀(guān)測全譜電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀