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吸盤裝置及化學機械研磨設備

873   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:00:45
本申請提供了一種吸盤裝置及化學機械研磨設備。該吸盤裝置包括：密封防護罩；膜組件，設置于所述箱式密封防護罩下側，所述膜組件內具有內腔；氣動組件，設置于所述箱式密封防護罩內、并通過氣管與所述膜組件的內腔連通，所述氣管的材料為透光材料；以及探測組件，包括相對地設置在所述氣管的兩側的光源和傳感器，所述傳感器用于接收所述光源發出、并經過所述氣管的光，以生成檢測信號。
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聲明：
“吸盤裝置及化學機械研磨設備” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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