本發明公開了一種用于鉛化學機械拋光的粗拋拋光液及抗氧化工藝,粗拋拋光液包括:研磨顆粒,氧化劑,金屬絡合劑和去離子水;采用pH調節劑調節粗拋拋光液的pH;本發明的鉛化學機械拋光粗拋拋光液及其對應的拋光工藝能夠直接將宏觀加工后的鉛塊進行拋光加工;同時,本發明的粗拋拋光液能夠有效地實現極高的純鉛材料去除速率,進而使其表面簡便快速的達到鏡面效果;此外,本發明加工后的鉛塊表面還為后期進行超精密加工鉛塊表面提供了可靠的前期準備工作。本發明的鉛表面抗氧化處理工藝,其工藝操作簡單、經濟環保,能夠快速解決純鉛拋光后表面氧化膜在數秒內生成的難題,從而有利于表面質量的檢測,又有利于工業中的使用需求。
聲明:
“用于鉛化學機械拋光的粗拋拋光液及抗氧化工藝” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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