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三維微區電化學沉積控制方法及其適配系統

1079   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:57:23
本發明提供的該三維微區電化學沉積控制方法及其適配系統，其中方法步驟包括：在電解液和樣品表面之間施加直流偏壓和交流方波信號后；檢測微管尖端與樣品表面接觸前回路中的交流電流信號，以計算正負電荷量Q＝∫idt，其中i為第一交流電流值，t為檢測周期，并進階計算電容值其中Va為交流信號幅值，后根據推算出微管接近樣品表面的接近距離d，其中r為微管尖端半徑，ε0為介電常數，籍此來準確判斷該微管尖端與樣品表面的實際距離。
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“三維微區電化學沉積控制方法及其適配系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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