本發明屬于藍寶石化學機械拋光加工控制技術領域,公開了一種藍寶石化學機械拋光加工工藝智能決策方法、系統及終端,基于7R模型建立藍寶石化學機械拋光智能工藝決策系統框架;基于數據庫結構建立完善的化學機械拋光數據庫;結合三支決策理論、層次分析法以及最近鄰算法計算的全局相似度、置信度與活性度的綜合置信因子開展實例優選;建立結合決策樹與深度神經網絡的異質集成學習與粒子群算法優化的預測模型獲得最優拋光工藝方案輸出;基于Qt 4.8.7和SQLite 3開發藍寶石化學機械拋光加工工藝決策系統并應用于國產數控拋光機床。本發明為藍寶石化學機械拋光加工工藝智能決策提供工業應用范式,實現藍寶石化學機械拋光智能化。
聲明:
“藍寶石化學機械拋光加工工藝智能決策方法、系統及終端” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)