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化學機械拋光裝置及化學機械拋光的方法

840   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:55:29
一種化學機械拋光裝置及化學機械拋光的方法，其中，化學機械拋光裝置包括：基座；固定于基座表面的研磨墊，研磨墊內具有檢測窗，檢測窗表面與研磨墊表面齊平，檢測窗為透光材料；位于基座內的光頭，光頭位于檢測窗下方，且光頭與檢測窗之間為空腔；固定于基座內的位置調節裝置，位置調節裝置與光頭連接；位于研磨墊上方的檢測裝置，檢測裝置位于研磨墊上方，檢測裝置到研磨墊中心的水平距離、與第一檢測裝置到研磨墊中心的水平距離一致；分別與位置調節裝置和第一檢測裝置連接的控制器，控制器根據檢測裝置檢測的研磨墊減薄的厚度，控制光頭下降相同距離。所述化學機械拋光裝置光學終點檢測精確。
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