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分析鑄造多晶硅微觀結構的方法

786   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:54:46
本發明公開了一種分析鑄造多晶硅微觀結構的方法，其包括以下步驟，步驟一、將鑄造多晶硅通過化學拋光和Secco刻蝕處理；步驟二、在步驟一后用大型金相顯微鏡進行觀測和拍照；步驟三、在步驟二后進行分析。本發明的有益效果為：通過化學拋光和Secco刻蝕的方法，研究了商業多晶硅和自制多晶硅塊的微觀結構，經拋光后，清楚地觀察到晶界、亞晶粒、半晶界和小三角等缺陷；經Secco刻蝕后，位錯缺陷凸顯出來，主要有密集位錯、集中位錯、位錯排等；經拋光和Secco刻蝕后，觀察和發現了各種形式的位錯缺陷，通過對多晶硅微觀結構的分析，進一步了解多晶硅晶體缺陷的形成機理，也可以為后續多晶硅鑄錠工藝的制定和優化打下一定基礎。
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