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用于測序芯片表面化學處理及封裝鍵合的方法

1215   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:49:13
本發明公開了一種用于測序芯片表面化學處理及封裝鍵合的方法。所述方法包括：對晶圓襯底進行打孔，在晶圓蓋板蝕刻流道結構，將打孔后的晶圓襯底和蝕刻后晶圓蓋板進行鍵合，得到鍵合晶圓，對鍵合晶圓進行表面處理，進行切割，得到所述測序芯片。本發明從晶圓級別進行封裝鍵合以及表面處理，最后進行單個芯片的切割和組裝，能夠解決目前測序芯片制備中存在的相關技術問題，并且在此基礎上簡化操作流程，降低工藝成本，顯著提高生產效率和產能。
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聲明：
“用于測序芯片表面化學處理及封裝鍵合的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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