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電誘導輔助化學機械拋光測試裝置

800   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:49:11
本發明公開了一種電誘導輔助化學機械拋光測試裝置，包括：拋光液池、拋光墊、拋光盤、拋光頭、驅動器、負電極以及外接電源；所述拋光液池用于盛裝拋光電解液，其通過所述拋光盤帶動而旋轉；所述拋光墊貼合于拋光液池的底壁上；所述拋光頭用于固定待拋光的晶片，并通過所述驅動器驅動而與所述拋光墊相對反向旋轉，以對晶片進行機械拋光；所述外接電源的正極與所述晶片接通，負極與所述負電極接通。本發明的電誘導輔助化學機械拋光測試裝置，通過電誘導作用的方式，增強晶片的氧化腐蝕，提高材料去除率，降低晶片拋光的生產成本，改善晶片的表面質量。
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聲明：
“電誘導輔助化學機械拋光測試裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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