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原位電化學反應觀測芯片

815   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:49:10
本實用新型公開了一種原位電化學反應觀測芯片及其應用。原位電化學反應觀測芯片包括基底以及設置于基底上表面的第一電極和第二電極，第一電極具有開口部，至少所述第二電極的一端部設于所述開口部內，且所述第二電極與第一電極之間無直接接觸，至少在設置于第一電極開口部內的第二電極具有一個以上貫穿所述第二電極的觀測窗口，所述觀測窗口還向下連續貫穿所述基底的上表面和下表面，以及，在所述觀測窗口上覆蓋有具有微通孔的薄膜。本實用新型采用性質獨特的低應力氮化硅薄膜覆蓋原來鏤空的觀測窗口，并在觀測窗口上方的氮化硅薄膜上制作了微米級和/或納米級的通孔陣列，這一改進使得芯片在實際使用中具有了更大的優勢。
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聲明：
“原位電化學反應觀測芯片” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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