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化學氣相沉積速率預測方法

706   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:49:10
本發明公開了一種化學氣相沉積速率預測方法，具體涉及化學工藝研究領域，具體預測方法如下：建立有限元反應器模型；建立能量守恒方程；建立質量守恒和動量守恒方程；建立多組分擴散方程；建立氣相反應模型；極限學習機模型和粘附系數法確定主要中間物質；建立表面反應模型；沉積速率預測模型建立粘度系數和表面濃度、沉積速率的相關性；建立中間物質粘度系數與其影響因素之間的多因變量的PLSR模型；根據實驗結果確定粘附系數。本發明結合機器學習和計算流體力學的模擬技術，將大大降低模型參數對人為經驗的依賴，通過少量實驗即可準確確定重要中間相和粘滯系數，達到預測結果準確性高、可靠性強的技術效果。
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聲明：
“化學氣相沉積速率預測方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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