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用于化學機械拋光裝置的在線終點檢測系統

896   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:38:39
本實用新型涉及一種用于化學機械拋光裝置的在線終點檢測系統,包括位于化學機械拋光裝置上的傳感器、數據采集器和工控機,其中傳感器包括檢測拋光盤轉速的速度檢測傳感器和用來檢測電機電流的電流檢測傳感器,所述速度檢測傳感器和電機電流檢測傳感器的輸出端均通過接入數據采集器與工控機連接。本實用新型所述用于化學機械拋光裝置的在線終點檢測系統能夠對化學機械拋光工藝進行實時、靈敏的在線終點檢測,且能精確檢測到化學機械拋光工藝的結束點。
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“用于化學機械拋光裝置的在線終點檢測系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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