本實用新型公開一種基于電磁法測量氣膜間隙內氣體密度的裝置,屬于精密設備性能檢測領域。本實用新型包括傳感器支架、大理石水平隔振平臺、主動空氣靜壓軸承、微位移傳感器、電磁線圈、壓縮彈簧、隨動空氣靜壓軸承、節流閥、空氣靜壓軸承進氣管、壓力調節閥、壓力表、空氣壓縮機。本實用新型裝置簡單,只需要額外添加微位移傳感器、電容測量儀以及微力傳感器;模型簡化,容易理解,數據處理量小,簡單方便;可以靈活快速地調節空氣靜壓軸承的氣膜間隙,可通過在軸承中增加電磁加載裝置,施加一個作用力在空氣靜壓主軸承上,實現調節空氣靜壓軸承氣膜間隙的功能,通過公式計算氣膜間隙變化,從而計算出氣膜間隙內氣體密度,可通過多次測試將氣膜間隙內氣體密度測量出來,可靠性高且易于實現;儀器應用普遍,成本低。
聲明:
“一種基于電磁法測量氣膜間隙內氣體密度的裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)