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自動化晶圓測試裝置

1013   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:28:45
本實用新型涉及一種自動化晶圓測試裝置，包括機體、角度調整機構、晶圓測試定位裝置、測試組件、安全門及鎖緊件。機體具有收容腔，收容腔的底壁形成安裝面，安裝面上設置有測試工位。角度調整機構安裝于安裝面，包括旋轉組件及平移組件。晶圓測試定位裝置安裝于角度調整機構背向安裝面的表面。測試組件設置于安裝面，測試組件用于對位于測試工位的芯片進行性能檢測。安全門設置于安裝口的邊緣。鎖緊件可操作地鎖閉或解鎖，以使安全門鎖合或打開。本實用新型提供的自動化晶圓測試裝置具有較高的安全性。
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聲明：
“自動化晶圓測試裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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