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一種衍射光學元件檢測系統及其檢測方法

1132   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:28:21
本發明提供一種衍射光學元件檢測系統及其檢測方法，屬于衍射光學技術領域，包括光源，以及沿光源出射方向依次設置的錐光鏡和圖像采集器，所述錐光鏡包括傅里葉變換透鏡組，衍射光學元件設置于所述光源和所述錐光鏡之間，且位于所述錐光鏡的焦點位置；還包括控制器，所述圖像采集器采集通過所述衍射光學元件和所述錐光鏡后形成的衍射圖像并發送給所述控制器，所述控制器對所述衍射圖像進行處理分析以得到所述衍射光學元件的光學性能。衍射光學元件檢測系統可以有效的消除不同衍射級之間的位置畸變和光斑的變形、拉伸等現象，可有效的提供衍射光學元件性能檢測的精度。
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聲明：
“一種衍射光學元件檢測系統及其檢測方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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