本發明公開了一種室溫氫氣傳感器,具體涉及表面覆蓋Pt電極的TiO2納米管陣列氫敏元件的制備與性能檢測。本發明所述的氫敏元件的制備方法為:將裁剪合適的高純度工業用Ti箔片經嚴格清洗后置于氟化銨和乙二醇水溶液中陽極氧化處理3h,制備出表面均勻、高度有序的TiO2納米管陣列。采用表面覆蓋Pt電極的TiO2納米管陣列作為氫敏元件,提高了傳感器靈敏度、響應速度,降低了工作溫度。
聲明:
“一種表面覆蓋Pt電極的TiO2納米管陣列室溫氫氣傳感器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)