本發明涉及一種微型氫氣傳感器,具體涉及氫氣傳感器中鈀-納米二氧化錫薄膜狀電極的制備與性能檢測,是以氧化鋁做底片,采用無電極電解的方法將鈀和納米二氧化錫沉積到底片上作為氫敏材料,本發明提供一種鈀-納米二氧化錫薄膜狀電極的制備方法,作為氫敏材料,更好地提高氫氣傳感器的性能,納米二氧化錫材料的研發和應用有助于提高二氧化錫氫氣傳感器的性能,將二氧化錫摻入鈀等貴金屬可以提高靈敏度、減少響應時間,還可以降低操作溫度,本發明響應時間較短,穩定性和重復性都較好,特別適合于室溫檢測,而且傳感器尺寸微小,加工成本低,便于微型化,集成化和產業化,基底載體的陶瓷片還可以回收利用。?
聲明:
“基于鈀-納米二氧化錫薄膜狀電極的室溫氫氣傳感器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)