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一種亞波長光子篩聚焦性能檢測方法

855   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:23:56
本發明公開了一種亞波長光子篩聚焦性能檢測方法。該檢測方法采用曝光法和掃描法相結合的混合檢測系統，由激光光源、擴束準直系統、亞波長光子篩、已涂有光刻膠的硅片、真空泵、工件臺、計算機控制系統組成；其中，工件臺由PI公司的二維工件臺和壓電陶瓷共同組成，二維工件臺用于粗調，壓電陶瓷用于精調；工件臺的運動方向及步進值由計算機控制系統的軟件進行設置，其中X方向控制焦距的步進，Y方向控制聚焦光斑的移動。本發明的檢測方法的測量精度不受CCD像素間距的影響，無需光學放大環節，不改變光斑在空間的實際能量分布。
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聲明：
“一種亞波長光子篩聚焦性能檢測方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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