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一種集成式真空發生器性能檢測設備及檢測方法

1172   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:19:41
本發明涉及一種集成式真空發生器性能檢測設備，包括：第一氣路，其包括依次連接的第一電子閥、耗氣流量表和進氣壓力表，第一電子閥控制外部氣源與待測集成式真空發生器的進氣接頭之間的通斷；第二氣路，其包括依次連接的第二電子閥、真空流量表和真空壓力表，第二電子閥控制所述集成式真空發生器的抽真空接頭與大氣之間的通斷；PLC控制器，其與第一電子閥、第二電子閥相連；只開啟第一電子閥，可對集成式真空發生器進行內漏檢測，然后，依次開啟第二電子閥和真空發生器的真空電磁閥，可進行最大真空度、最大耗氣量以及最大真空流量的檢測，該檢測結束后，開啟真空發生器的破壞電磁閥，進行最大破壞流量的檢測，整體結構容易實現且檢測數據全面。
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聲明：
“一種集成式真空發生器性能檢測設備及檢測方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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物理檢測
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