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一種磁控濺射用端頭性能檢測裝置

1171   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:16:41
本實用新型涉及一種磁控濺射用端頭性能檢測裝置，包括機體和氦氣檢測儀，所述機體上側的左方安裝有檢測腔體，所述檢測腔體的上側安裝有待測端頭，所述待測端頭內的后側安裝有伺服馬達，所述機體前側的左上方安裝有控制面板，所述機體前側的左右兩方分別安裝有一處壓力表，所述機體前側的中間安裝有U形壓力計，所述機體的前側安裝有閥門；本實用新型一種磁控濺射用端頭性能檢測裝置，通過在待檢端頭的右方設置冷卻水回路、真空回路和冷卻水旁路，利用和閥門、壓力表、U形壓力計、差分泵、接口、氦氣檢測儀的配合，可以對磁控濺射用端頭操作環境的密封性進行全面精準地檢測，為磁控濺射操作的正常進行保駕護航。
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“一種磁控濺射用端頭性能檢測裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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