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復合基板以及使用其的彈性波元件

744   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 00:29:15
本公開的復合基板具備：由鉭酸鋰晶體構成且歐拉角為(0、α、γ)的第1基板10；以及由與所述第1基板10接合的硅單晶構成且歐拉角為(?45、?54.7、β)的第2基板20，α為?40°～?60°或120°～140°，γ為0°或180°，并且滿足以下情況的任一者。(1)為β＝γ±20°以內以及其等效的取向，(2)γ+160°≤β≤γ+200°。
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