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基于微腔結構的雙腔自注入一體化集成光生微波源系統

1061   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 23:40:21
本發明涉及光生微波技術領域，尤其涉及一種基于微腔結構的雙腔自注入一體化集成光生微波源系統，其為一體化芯片結構，包括三個芯片級集成單元：第一集成單元，其為有源器件，包括DFB激光器和高飽和功率光電探測器；第二集成單元，其為無源器件，包括基于硅襯底的鈮酸鋰薄膜調制器、鈮酸鋰環形回音壁廊微諧振器和CaF2回音壁廊諧振器；第三集成單元，其為集成電路芯片用以補償光電振蕩回路中的損耗并進行相位匹配，包括移相器和電放大器；本發明所述系統能夠克服現有技術中自注入鎖定光生微波源信號穩定差的問題，提出一種高超聲速精確打擊武器裝備對低相噪、可調諧、高頻率穩定性小型化微波源。
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“基于微腔結構的雙腔自注入一體化集成光生微波源系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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