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縱向泄漏聲表面波諧振器及濾波器

982   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 23:24:42
本申請涉及異質集成器件制備技術領域，提供了一種縱向泄漏聲表面波諧振器及濾波器，縱向泄漏聲表面波諧振器包括支撐襯底、設置在支撐襯底上的壓電薄膜以及設置在壓電薄膜上的電極陣列。其中，支撐襯底可以為旋轉切型的碳化硅襯底，壓電薄膜的材料可以為鈮酸鋰或者鉭酸鋰。通過采用旋轉切型的碳化硅支撐襯底與壓電薄膜相結合的諧振器，可以在不改變襯底材料聲速的前提下，降低反諧振頻率附近的損耗，使得諧振器具有更為寬頻的極低損耗區，進而可以實現更優異的諧振器和濾波器性能。
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“縱向泄漏聲表面波諧振器及濾波器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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