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氣囊控制的微量藥物輸送執行器

747   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 23:22:38
本發明涉及醫療器械領域,是一種新型硅尖微針陣列微執行器的結構和制作方法。一種氣囊控制的微量藥物輸送執行器,由在硅基片一面上利用微電子機械加工工藝刻蝕出硅針陣列和微通道陣列,在硅片的另一面制作反應室,利用PDMS作樣品或藥物的反應室底部,PDMS隔膜與另一刻蝕有氣囊室的硅片組成氣囊,氣囊內裝載含結晶水的氯化鋰,氣囊外沉積鉑金加熱電極,使得氣囊膨脹壓迫反應室,使反應室體積發生變化,實現微量輸送藥物的目的。
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