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帶電極的反向臺面超薄晶片及其制備方法

976   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 23:22:12
本發明公開了一種帶電極的反向臺面超薄晶片及其制備方法，從上而下包括上電極、目標晶片、下電極、隔離層和支撐襯底晶片；其中目標晶片的厚度為10~80μm，目標晶片的材料為鉭酸鋰、鈮酸鋰或石英；上電極和下電極均為厚度為5nm~1μm的金屬膜，支撐襯底晶片的厚度為0.2~1mm，支撐襯底晶片的材料為硅、石英或玻璃，并且目標晶片和支撐襯底晶片的材料不同；本申請的帶電極的反向臺面超薄晶片，從上而下包括上電極、目標晶片、下電極、隔離層和支撐襯底晶片；采用隔離層將目標晶片和支撐襯底晶片連接，其中目標晶片的表面質量好，表面平整度高，因而與目標晶片連接的上電極和下電極的有效面積大，制備的諧振器的頻率穩定性高。
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聲明：
“帶電極的反向臺面超薄晶片及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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加工技術
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