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高頻表面聲波組件及其基板

1051   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 23:15:13
本發明是關于一種高頻表面聲波組件及其基板,尤其是指一種無需以價格昂貴的藍寶石基板做為其基板的高頻表面聲波組件及其基板。高頻表面聲波組件包括:一基板;一形成于基板的表面的第一緩沖層;一形成于第一緩沖層的表面的第二緩沖層,一形成于第二緩沖層的表面的壓電層;一輸入轉換部;以及一輸出轉換部。其中,輸入轉換部與輸出轉換部成對地設置于壓電層的表面或其下方?；鍨楣杌?第一緩沖層為氧化硅,厚度介于0.05至0.2μm之間,第二緩沖層為氧化鋁,厚度介于0.5至20μm之間,壓電層為氧化鋅、氮化鋁、鈮酸鋰或鉭酸鋰材質的壓電薄膜。
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“高頻表面聲波組件及其基板” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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